Boron11 Triklorid Semiconductor Dopant Semiconductor Suhi Etching
Uvod proizvoda
Pri normalnoj temperaturi i tlaku, bordorid bor (Bcl 3 ) je bezbojni dimni plin, koji je zapaljiv, oštar, kiseli miris. Boron triklorid razgrađuje se u klorovodičnu kiselinu i boru i oslobađa puno toplinskih susreta s vodom, on stvara dim u vlažnom zraku zbog hidrolize, a Bcl 3 se razgrađuje u esteru klorolorne kiseline i burne kiseline u alkoholu. Boron triklorid ima snažnu sposobnost reakcije i može tvoriti različite koordinacijske spojeve. Boron triklorid može reagirati sa staklom i keramikom kada se zagrijava, a reagira i s mnogim organskim spojevima kako bi tvorio razne organoboronske spojeve. Triklorid visoke čistoće, triklorid, uglavnom se koristi za difuzijsku dopingu u proizvodnom procesu (silikonskih) poluvodičkih uređaja. Nečistoće od borona nastaju razgradnjom Bcl 3 i difuznim prema silicijumu kako bi se stvorio poluvodič P-tipa na visokoj temperaturi. BCL 3 se također može koristiti za suho jetkanje AL, Mosi 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI i drugih materijala.
Specifikacija kvalitete
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Prijava
Boron triklorid može se koristiti za proizvodnju visokog čistog borona, katalizatora za organsku sintezu, sredstva za fluksu za raspadanje silikata, a također se koristi kao aditiv za deoksidizator, nitride i karbide u rafiniranju legura. Visoki čisti boron11 triklorid uglavnom se koristi u difuzijskom dopingu, implantaciji iona, suhom jetkanju i drugim procesima u poluvodičkim uređajima i integriranom proizvodnji kruga.
Pakiranje i skladištenje
Boron11 triklorid se ispunjava u cilindru. Cilindar ispunjen boron11 trikloridom u skladu je s relevantnim odredbama GB14193. Specifikacije pakiranja uključuju 10L i 47L. Proizvod se pohranjuje u sjenovitom, suhom i ventiliranom skladištu ispod 60 ℃ . Zabranjeno je izložiti suncu i držati se podalje od izvora topline. Paket mora biti zapečaćen i treba ga odvojeno pohraniti s alkalnim i drugim opasnim člancima.
Contact Now
